CKD五通電磁閥ADK21-50F-B4A-AC220V 

采用金屬膜片的工藝氣體用閥新品種。

已作為采用鍛造閥體的通用型產(chǎn)品發(fā)布。

備有氣控型、手動(dòng)型。

行業(yè)

化學(xué)氣體供給設(shè)備用元件

化學(xué)液體供給設(shè)備用元件

半導(dǎo)體制造工序（前工序）

氮?dú)馇逑搓P(guān)聯(lián)元件

標(biāo)準(zhǔn)工藝氣體用閥】

備有氣控型和手動(dòng)型兩種。

配管口徑：1/4～1/2

接頭：備有雙卡套接頭和VCR同等產(chǎn)品。

LGD10-4RM手動(dòng)閥1/4"JXR公接頭

LGD10-4R手動(dòng)閥1/4"JXR母接頭

LGD10-4S手動(dòng)閥1/4"雙卡套接頭

LGD20-8RM手動(dòng)閥1/2"JXR公接頭

LGD20-8R手動(dòng)閥1/2"JXR母接頭

LGD20-6S手動(dòng)閥3/8"雙卡套接頭

LGD20-8S手動(dòng)閥1/2"雙卡套接頭

LGD1※-4RM氣控閥1/4"JXR公接頭

LGD1※-4R氣控閥1/4"JXR母接頭

LGD1※-4S氣控閥1/4"雙卡套接頭

LGD2※-8RM氣控閥1/2"JXR公接頭

LGD2※-8R氣控閥1/2"JXR母接頭

LGD2※-6S氣控閥3/8"雙卡套接頭

LGD2※-8S氣控閥1/2"雙卡套接頭

項(xiàng) 目 LGD10 LGD20

使用流體 惰性氣體。工藝氣體

使用壓力 Pa(abs)-MPa(G) 1.3x106~0.99

流體溫度 C 5~80

環(huán)境溫度 C 5~60

閥座泄漏 Pa.m/sec.He 1.0X101"以下

外部泄漏 Pa.m3/sec.He 1.0x10"以下 \

Cv值 (23C、加壓下) 0.3 0.7

相當(dāng)于1/2"JXR公接頭(3/8"互換)

相當(dāng)于1/4"JXR公接頭 相當(dāng)于1/2"JXR母接頭(3/8"互換)

配管方式注2 相當(dāng)于1/4"JXR母接頭 3/8"雙卡套接頭

重量注1 kg 0.26 0.57

注1:重量為相當(dāng)于JXR公接頭時(shí)的數(shù)值。

注2:JXR接頭可與VCR接頭連接。

CKD五通電磁閥ADK21-50F-B4A-AC220V